它通常采用特殊的耐高温材料制成，能够在250℃甚至更高温度下持续稳定工作，同时保持高效的空气过滤性能，能有效截留0.3微米及更小粒径的颗粒，过滤效率可达到 HEPA（高效空气微粒过滤器）标准，有的甚至能达到 ULPA（超高效空气过滤器）标准 ...

及 ULPA（超高效过滤器）等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。此外，在海外市场，公司系Intel、 ST Microelectronics 等国际 ...