美国ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列台式三维原子层沉积系统，具有高精度、高均匀性和高灵活性等特点，适合于纳米尺度薄膜沉积。该系统体积小巧，能够实现多片基片同时沉积，并支持多种基片尺寸和厚度。其独特的热壁设计和前驱体瓶加热功能，确保了温度的均匀性和稳定性，尤其适用于复杂形状 ...