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此次新凯来首次公开亮相,就带来了四大类(扩散、刻蚀、薄膜和量检测)产品展示涵盖了EPI、RTP、ETCH、CVD、PVD、ALD、光学量检测、PX量测和功率 ...
当人类第一次用火冶炼金属时,或许不曾想到,几千年后的今天,我们已能在微观尺度上操控原子的舞蹈。化学气相沉积(CVD)技术,正是这场"原子炼金术"的集大成者。在真空腔室内,气态前驱体分子如游吟诗人般徘徊,直到遇见基底的召唤,便在热力或 ...