波长低于10纳米的光被称为软X射线，由于大多数材料对其的吸收率很高，目前尚未用于芯片生产。因此，虽然波长低于10纳米的光目前尚未用于芯片生产，但从长远来看，它可能是一个充满希望的研究领域。

这将使我们能够使用由STARLIGHT驱动的初始LITH-0系统演示硅图案化。 按照Inversion的计划，公司将使用其先进的光源投射图案，就像传统的 EUVL 一样 ...