然而，碳化硅衬底的加工精度，尤其是总厚度变化（Total Thickness Variation, TTV）的管控，对于确保器件的性能和可靠性至关重要。磨轮修整作为碳化硅衬底加工中的一个关键环节，对TTV的管控具有显著影响。本文将探讨磨轮修整方法及其对碳化硅衬底TTV管控的影响。

然而，在碳化硅衬底的加工过程中，总厚度变化（Total Thickness Variation, TTV）的测量，尤其是边缘部分的TTV，对于确保器件的性能和可靠性至关重要。本文旨在探讨碳化硅衬底边缘TTV测量的意义和影响，以期为半导体材料的加工和优化提供有益的参考。 2.边缘TTV是 ...

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