客户设备处在洁净室内，柜内空间有限，需要节省空间。为了保证半导体晶圆的品质(热盘温度不均可能导致晶圆变形等不良），需要热盘整体高速同步升温，热盘各个区域温度保持一致。 欧姆龙精心打造的e-Learning课程，以自动化领域的数智化转型需求为切入点 ...