具体来说，研究人员自主研发出一种 Yb:YAG 晶体放大器，其所产生的 1030 nm 激光会被分为两部分：一部分通过四次谐波生成 258 nm 激光，另一部分用于泵浦光参量放大器，能够产生 1553 nm 激光。这些光束在级联晶体中的频率混合产生了 193 nm 激光，平均功率为 70 mW ...

其核心由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1,030纳米激光，并通过两条不同的光学路径进行波长转换。一种路径采用四次谐波转换（FHG），将1,030纳米激光转换为258纳米，输出功率为1.2 W；另一种路径利用光学参数放大（OPA）技术，将1,030纳米转换为1,553纳米，输出功率为 ...

另一方面，新的中国科学院激光器是一种全固态激光器，不需要气体，只使用晶体和光学器件。该团队通过使用Yb:YAG晶体放大器产生波长为1030 nm的 ...

近日，来自中国科学院空天信息创新研究院和中国科学院大学的研究人员打造出一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，该系统能在 6 kHz 的重复频率下 ...

中国科学院近日宣布在激光技术领域取得重大突破，成功研发出固态深紫外（DUV）激光源。这款创新性的激光源能够发射出与当前主流DUV曝光技术波长相同的193纳米相干光，为半导体工艺提升至3纳米节点提供了有力支持。

将自制 Yb:YAG 晶体放大器中的 1030 nm 激光的一部分通过四次谐波产生，生成 258 nm 激光（1.2 W），其余部分用于泵浦一个光学参量放大器，产生 1553 nm ...

中科院的固态DUV激光技术完全基于固态设计，由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。 一路采用四次 ...