据麦姆斯咨询报道,近期,西北工业大学黄维教授、王小旭教授、卢乾波副教授等研究人员开发出一种结合了自由形式反弹簧(F-AS)设计和光学读出器的微伽(μGal)级微光机电系统(MOEMS)重力仪。通过多级算法设计,该MOEMS重力仪无需采用高深宽比的弹簧结构 ...