美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)正致力于研发一种革命性的激光器——拍瓦级(petawatt-class)铥激光器(thulium laser)，其效率远超传统的CO2 EUV激光器，高达10倍之多，为下一代EUV光刻技术的突破奠定了坚实基础。