碲锌镉（CdZnTe）作为理想的碲镉汞外延薄膜衬底材料，对其质量均匀性尤其是夹杂有很高的要求，夹杂作为降低组件性能的主要缺陷之一，其尺寸减小以及消除研究对组件性能提高具有重要意义。首先，进行外延时，作为衬底材料，其第二相夹杂作为体缺陷会 ...