纳米计量

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1.

A set of multi-pass position laser interferometer system is established. Its higher resolution can meet the needs of nanometrology.

为此特别研制了多倍程激光干涉仪系统，其具有较高的分辨率，能够满足纳米计量的需要。

2.

Dual Imaging Unit Atomic Force Microscope and Its Applications in Wide-range Nano-metrology

双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用

3.

Analysis of nanometrology and atom photolithography

纳米计量与原子光刻技术分析

www.ichacha.net

4.

Precision Nanometrology of Large Silicon Wafer Flatness

大型硅晶片平面度精密纳米计量技术

5.

An atomic force microscope head designed for nanometrology

一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计

6.

An Overview of Nanometrology for Geometry Parameters

几何量纳米计量方法及仪器

7.

Surface nanometrology based on SPM techniques

基于 SPM 技术的表面纳米计量

www.ilib.com.cn